金属零件的真空泵热处理是在密闭退火炉中进行的，这是众所周知的严格的真空泵密封。因而，得到 和坚持不懈火炉预计的漏汽率，确保退火炉的工作中真空值，对保证 零件真空泵热处理的品质拥有 十分关键的实际意义。因此，真空泵热处理炉的关键问题是要有一个可靠的真空泵密封结构。热处理厂家为了更好地确保退火炉的真空泵特性，真空泵热处理炉总体设计中务必道循一个基本准则，便是炉墙要选用气密性电焊焊接，另外在炉墙上尽量避免开或是不动孔，少选用或是防止选用动密封性构造，以尽量避免真空泵泄漏的机会。安装在退火炉炉体上的水冷却冷却冷却电气级和耐热输出设备等部件和配件必须设计为密封。
大多数加热和绝缘材料仅在真空泵的情况下使用。针对真空泵热处理炉在真空泵和高温条件下工作的特点，提出了真空泵热处理炉的耐热性、良好的辐射效果和小传热系数的规范。对抗进行氧化能规定要求不高。因此 ，真空泵通过热处理炉普遍选用了钽、钨、钼和高纯石墨等作加温与隔热材料保温构料。这种企业原材料在空气情况下可以非常简单容易导致空气进行氧化，因而，一般热处理炉不可以选用这种加温与保温材料。
水冷散热设备：真空泵热处理炉的炉盖、炉盖、电热材料、水冷散热电级、正中间真空泵隔热保温门等构件，均在真空泵、遇热情况下工作中。在这样极其恶劣的标准下，保证各部件的结构不变形、不损坏，真空泵的密封圈不发热、不损坏是很重要的。因此，各部件应根据不同的工况设置水冷式冷却设备，以保证真空泵热处理炉能够全部正常运行并有足够的使用寿命。
